
华为被指统筹国产光刻机供应链,宇量昇 DUV 年底目标 12 台
据英国《金融时报》报道,华为正在更深度介入国产光刻机供应链。报道称,华为不仅投资相关设备和零部件公司,还在协调供应商、晶圆厂和整机厂商,推动国产 DUV(深紫外光刻机)进入实际产线。Bernstein 分析师将华为形容为中国 DUV 项目的“项目管理者”。
进展较快的是上海宇量昇。该公司参与开发国产先进 DUV,目前设备已在中芯国际等晶圆厂以及华为自有产线上测试,计划今年底生产 12 台。现阶段设备主要用于较简单芯片制造,最终目标是用于先进 AI 芯片制造。
国产 DUV 目前仍未完全摆脱海外供应链。宇量昇使用的投影镜头仍来自德国 Zeiss,高功率光源也是主要瓶颈。华为已投资至期光子、科益虹源等公司,分别补足国产镜头和光源环节。
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