上海艾晟纳被指为国产浸没式DUV设备制造商

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上海艾晟纳被指为国产浸没式DUV设备制造商
上海艾晟纳被指为国产浸没式DUV设备制造商

据路透社7月31日报道，上海艾晟纳被确认为中国首台国产浸没式深紫外（DUV）芯片制造设备的制造商。首台可用于量产7纳米芯片的光刻机预计于2038年完成。

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